简述电容式压力传感器及表面弹性波形压力传感器。

电容式压力传感器：

利用氧化铝薄膜和底板相互靠近排列形成电容器，利用电容器薄膜上下压差变化的性质，得到与压力成正比的电容器值信号。将电容器连接到传感器混合集成电路的振动电路上，传感器产生变频信号。输出频率与进气压力成正比，在80.120Hz之间发生变化。

表面弹性波形压力传感器:

用超声波加工薄膜敏感区域的压电基板，雕刻更换器(压敏SAW延迟线)，将更换器和电路组合成振动器。

传感器是在研磨过的压电基板上设置两个金属叉，当输入传感器叉在T1上添加电信号时，反压电效应在基板寿命面上激发弹性表面波，传播到传感器文指T2，变成电信号，扩大后反馈T1，保持振动状态。两个交换叉之间的表面弹性波传播时间是延迟时间，其大小取决于两个交换叉之间的距离。

由于进气分支管的压力作用于压电基板，压力变化在薄膜敏感区域发生变化，即使交换叉指间距发生变化。因此，表面弹性波传播的延迟时间发生了相应的变化。这样，压力信号可以根据振动频率与延迟时间成反比输出。

频率压力传感器的信号电压一般为5V或12V。当空气流量发生变化时，电压始终保持不变，输出的脉冲频率也发生变化，因此流量的变化不能根据测量电压来确定。

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