微型机电系统传感器是采用微型电子和微型机械加工技术生产的新型传感器。这种传感器具有体积小、功耗低、成本低、智能化的特点，为解决传统半导体TO封装中遇到的功耗大、体积大等问题提供了有力的解决方案。与此同时，MEMS技术的应用也为气体传感器的集成化奠定了坚实的基础。当前，业界普遍认为，基于MEMS技术的气体传感器已成为未来气体传感器的主要发展方向之一。

与物理类传感器芯片不同，气体传感器涉及化学、材料、自动化、精密仪器、电子、半导体制造、软件和算法等多个学科，制造难度大，工艺流程复杂。现在，市场上的MEMS气体传感器一般都是以单晶硅材料为基础，MOS金属氧化物成分是气体敏感材料，当气体敏感材料暴露在被测气体中时，气体会与其发生作用，导致电导率或电阻率的变化，产生含有气体成分和浓度的电信号，经过信号处理电路处理后，就可以识别出气体的成分和浓度。最常用的金属氧化物半导体是二氧化锡，其次是二氧化钛、氧化锌等。为了提高气敏感器的灵敏度和选择性，常常会向金属氧化物中加入催化剂，如铂、钯等贵金属或合适的金属氧化物。用的金属氧化物半导体气敏感器半导体是二氧化锡，其次是二氧化物，其次是二氧化钛、氧化锌等。为了提高气敏感器的灵敏度和选择性，通常会在金属氧化物中加入催化物中加入催化剂，如铂、钯等。

随着技术水平的不断提高，市场对小型、低功耗、智能化、模块化气体传感器的需求越来越大，尤其是在物联网等广泛应用的推动下，MEMS传感器的应用空间越来越大。基于MEMS技术的半导体敏感材料(MOS)气体传感器开始广泛应用于智能家电、智能家居、移动佩戴、物联网环境监测、建筑控制、医疗健康早期筛查等气体检测领域。

长期以来，气体传感器在物联网的发展中起着关键作用。气体传感器出现在供暖、通风和空调(HVAC)系统、空气净化器、智能窗户、汽车、医疗器械、大气环境监测、石油化工等行业。制造执行系统和丝网印刷技术为气体传感器的小型化打开了大门，使这些微型气体传感器能够集成到智能手机和可穿戴设备等消费电子产品中。未来，增加功能密度和精度将成为制造执行系统的重要驱动因素，为更多场景带来可感知价值！

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