扩散半导体压力传感器，又称硅压力传感器。这里有三个主流的扩散半导体压力传感器。

这种类型的传感器在80℃以下测量空气等非腐蚀性气体，需要用硅凝胶等软树脂包装，即将硅片粘接到金属底座上，然后引出连接线。为了提高可靠性，用硅凝胶填充成型，其优点是成本很低。其原理是待测气体通过与管壳上的管道连接的橡胶管导入，压力通过硅凝胶导入，作用于圆形隔板的上部，下部受到大气压力。在压力下，两个压差使隔板凹陷。

该硅压力传感器安装在发动机系统中，为了耐汽油蒸汽的110℃高温，稳定工作，这里不能使用树脂，需要在金属底座上用玻璃连接硅片和硅座。

金属底座和硅片的热膨胀系数不同，所以用5毫米厚的硅片缓冲。管道安装在无组件的硅片内侧，当管壳为真空时检测绝对压力。

流量计采用硅压力传感器，内部填充液体，主要用于油压和成套设备作为流量计。其结构是将硅片安装在底座上后，用薄型SUS隔板密封管壳上部，内部密封硅油。由于测量体只接触SUS隔板，可以承受一些腐蚀性气体和液体，其特点是成本高。

另外，硅压力传感器的检测方式有三种：压差显示的压力型、绝对压力型和硅片两侧管道的二差压型。

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