压力传感器主要应用在汽车各种压力的测量中：

主要用于测量气囊压力、燃油压力、发动机油压、进水管压力和轮胎压力等。该传感器以单晶硅为材料，利用MEMS技术，在材料的中间制造出力敏感膜片，然后在膜片上扩散杂质，形成四个应变电阻，再通过惠斯顿电桥连接成电路，获得高灵敏度。

        汽车上使用的MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式和声表面波式等几种常见形式。”MEMS加速度计原理以牛顿经典力学定律为基础，一般由悬挂系统和检测质量组成，通过硅质量块的偏移来实现对加速度的检测，主要应用于汽车气囊系统、防滑系统、导航系统和防盗系统等，除电容式、压阻式外，MEMS加速度计还具有压电式、隧道电流式、谐振式和热电偶式等形式。而电容式MEMS加速度计由于其灵敏度高，温度对测量精度影响小，是MEMS微加速度计的主流产品。

微型陀螺是一种角速率传感器，主要应用于汽车导航GPS信号补偿和汽车底盘控制系统，其中包括振动式、转子式等多种传感器。

大多数的振动陀螺是利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座驱动旋转时所产生的哥氏效应来感测角速度的。举例来说，汽车转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度，以决定转向是否到位，主动地在内侧或外侧车轮上加适当的制动，以防止汽车脱离车道，通常，这种系统与低加速度计组成主动控制系统。

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